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一、CVD燒結管式電阻爐概述
       CVD燒結管式電阻爐主要應用于高等院校、科研院所、工礦企業等實驗和小批量生產之用。主要用于粉體、電子、陶瓷等其它產品的預燒、燒結、鍍膜、高溫熱解低溫沉積(CVD)工藝等。

二、CVD燒結管式電阻爐特點
       1、爐膛材料采用陶瓷縴維,呈現溫場均衡、表面溫度低、升溫速率快、節能等優點;
       2、電熱元件采用高電阻合金絲,表面負荷高,發熱速度快;
       3、爐體兩端采用不銹鋼密封法蘭,耐高溫、耐腐蝕;
       4、保護管采用高純石英管 ,氣管采用密封快接插頭,安裝方便;
       5、爐體采用雙層空氣隔熱技術,配有自動冷卻風扇,降低爐體外殼溫度;
       6、控制系統采用40段程序控溫,控溫精度±1℃,移相觸發、可控 控制。

三、CVD燒結管式電阻爐參數
 項目指標值
額定功率4KW
額定電壓AC220V   50/60Hz
高溫度1600℃
額定溫度1500℃
升溫速率≤10 ℃/min
爐管尺寸Dia 80 X 1000 mm
控溫精度±1℃
控溫方式32段程序 PID程序控溫 
(日本進口)
熱電偶型號 B型
加熱元件  鉬棒
爐管材料  99剛玉
重量約120 Kg
爐膛材料氧化鋁多晶體縴維  氧化鋁含量95% (真空成型) 美國進口
爐殼表面溫度≤35 ℃

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